C00358 - SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8），電子グレード，シリンダ充填，品質99.999%の仕様 Revision:SEMI C3.58-0303 - Superseded

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C00358 - SEMI C3.58 - 八フッ化シクロブタン（C4F8），電子グレード，シリンダ充填，品質99.999%の仕様 Revision:SEMI C3.58-0303 - SupersededNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI Gases Global Technical Committee2011912global Audits and Reviews Subcommittee201110www. semiviews. org www. semi. org20033 (C4F8) (C4F8) Referenced SEMI Standards None.

SEMI P45-1218 (technical revision)

SEMI M42-0211 (technical revision)

As this technology has developed

この文書は，SEMI E78，SEMI E43，静電気を測定するその他の方法，および静電気制御方法の性能パラメータを参照している。

SEMI M61-0612 (Reapproved 0319)

Generic Services

orgで入手可能となる。初版は1997年発行。前版は2005年11月発行。

and alignment

SEMI MF1188 –– Test Method for Interstitial Oxygen Content of Silicon by Infrared Absorption with Short Baseline

3D normal luminance uniformity

SEMI C99-0320 (first published)

本ガイドは，MEからのF-GHG排出特性評価に適用される。