M05600 - SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法 StdTpc-Process Chemicals - Solvents the values stated in acceptable

the values stated in acceptable metric units are for information only

Organics are present in many materials

本スタンダードは半自動（PGV）と自動搬送（AGVやOHT）両方に対応する450mmウェーハ用フレームカセットを規定する。手動搬送は想定していない。

装置とミニエンバイロメントのロードポート部の部品

M05600 - SEMI M56 - 計量装置の測定変動と偏りに起因する費用成分の作業法 StdTpc-Process Chemicals - Solvents the values stated in acceptableglobal Silicon Wafer Committee20061121global Audits and Reviews Subcommittee20072www. semi. org20073CD ROM200311 11 P TP T Referenced SEMI Standards SEMI E35 Guide to Calculate Cost of Ownership (COO) Metrics for Semiconductor Manufacturing Equipment SEMI E89 Guide for Measurement System Analysis (MSA) SEMI M1 Specifications for Polished Monocrystalline Silicon Wafers S EMI M59 Terminology for Silicon Technology